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蒙特卡洛法計算鈦升華泵抽氣速率的結果與討論
用蒙特卡洛法計算了HIRFL-CSR 鈦升華泵對于不同氣體吸附系數在分子流條件下的吸附概率,分析了擋板的形狀和設置位置對吸附概率的影響,并得到了對H2抽速的計算與實驗數據相接近的結果。
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