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真空發生器的工作原理是利用噴管高速噴射壓縮空氣，在噴管出口形
清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及
隨著疫情的控制，2021年國際泵業市場實現復蘇，基本上所有企業都實現增長。
往復式真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。往復式真空泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較
旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成，旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空
本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強、低溫泵的降溫時間、低溫泵的工作壽命等關于低溫泵的抽氣特性計算公式。
利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發生吸附而達到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據所用吸附劑不同，又可分為三種類型： 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵
蔀射離子泵的抽氣特性如濺射離子泵的極限壓強、濺射離子泵的抽速、濺射離子泵在抽除惰性氣體氬不穩定性、濺射離子泵對有機蒸氣污染敏感等等。
濺射離子泵又稱潘寧泵，它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設備。濺射離子泵主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部
鈦升華泵的極限壓強：可達10-10Pa。鈦升華泵的抽速較大，抽速可以計算。
鈦升華泵的結構大致可分為三部分：吸氣面、熱絲(或升華器)和控制器。本文主要講敘了升華器的幾種類型結構。
利用加熱的方法升華鈦并使其沉積在一個冷卻的表面上，對氣體進行薄膜吸附的抽氣裝置，稱為鈦升華泵。
